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前言

中華人民共和國國家標準電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范Codefordesignofelectronicindustr......

1、總則

1總則1.0.1為在電子工業(yè)潔凈廠房設計中，做到技術先進、經(jīng)濟適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質量，并......

2、術語

2術語2.0.1潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生及滯留粒......

3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求

3電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求3.1一般規(guī)定3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和......

4、總體設計

4總體設計4.1位置選擇和總平面布置4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據(jù)下列要求經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定：1應布置......

5、工藝設計

5工藝設計5.1一般規(guī)定5.1.1潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預......

5、工藝設計

5工藝設計5．1一般規(guī)定5．1．1潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預......

6、潔凈建筑設計

6潔凈建筑設計6.1一般規(guī)定6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生......

7、空氣凈化和空調通風設計

7空氣凈化和空調通風設計7.1一般規(guī)定7.1.1潔凈廠房內各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工......

8、給水排水設計

8給水排水設計8.1一般規(guī)定8.1.1潔凈廠房的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內，并宜敷設在通行的技術......

9、純水供應

9純水供應9.1一般規(guī)定9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應根據(jù)原水水質和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質的要求，并結......

10、氣體供應

10氣體供應10.1一般規(guī)定10.1.1潔凈廠房內應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓......