9 純水供應

　　9.1 一般規定

　　9.1.1 電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經技術經濟比較確定。

　　9.1.2 純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內;潔凈室(區)內的純水支管宜暗裝。

　　9.1.3 穿越潔凈室(區)墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管，套管與管道之間應采取密封措施。

　　9.1.4 潔凈室(區)內純水管道的保溫材料，不得產生污染物，外表面應平整、光滑、易于清潔。

　　9.2 純水系統

　　9.2.1 純水系統的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外，還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。

　　9.2.2 純水的制備、儲存和輸送設備，應符合電子產品生產工藝的要求，并應符合下列規定：

　　1 純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇，應滿足供水水質、終端水質的要求;

　　2 純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇，應確保水質污染少、密封性好，不得有滲氣現象;

　　3 純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質降低。

　　9.2.3 純水系統應采用循環供水方式，宜采用單管式循環供水系統或設有獨立回水管的雙管式循環供水系統，并應符合下列規定：

　　1 循環回流水量應大于設計供水量的30%;

　　2 干管流速應大于等于1.5m/s;

　　3 不循環支管的長度不應大于管徑的6倍;

　　4 干管應設置清洗口;

　　5 管道系統必須密封，不得有滲氣現象;

　　6 應配備在線水質檢測儀表;

　　7 對純水水質要求嚴格的電子產品生產工藝，應采用雙管式循環供水系統。

　　9.2.4 純水系統中與純水直接接觸的設備表面應光潔、平整、化學性質穩定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

　　9.2.5 用于純水系統的水質檢測設備、量具、儀表，其連接不應使純水水質降低，其檢測范圍和精度應符合純水生產和檢驗的要求。

　　9.2.6 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產設備設置。

　　9.3 管材、閥門和附件

　　9.3.1 純水系統管道材質的選用，應符合下列要求：

　　1 應滿足純水水質指標的要求;

　　2 材料的化學穩定性應好;

　　3 管道內壁光潔度應好;

　　4 不得有滲氣現象。

　　9.3.2 純水管道的閥門和附件的選用應符合下列規定：

　　1 應選擇與管道相同的材質;

　　2 應選用密封好、結構合理、無滲氣現象的閥門;

　　3 對純水的水質要求嚴格的產品生產工藝用純水系統，應采用隔膜閥。